设备参数
蔡司 测量仪 | 测头扫描环规精度圆度偏差 | 1.2um以内 |
X/Y/Z测量行程 | 1200mm*2400mm*1000mm | |
被测工件最大质量 | 5000kg | |
最大工件尺寸 | 3140*1590*1151mm | |
最大扫描速度 | 200mm/S | |
长度测量精度 | 1.3μm+L/350 |